라이카코리아, 웨이퍼 검사장비 국내 공급

반도체 장비 공급업체인 라이카코리아(대표 고승희)는 반도체 웨이퍼의 각종 결함을 자동으로 검색, 분류해 주는 웨이퍼 검사 장비 「INS3000」 제품을 국내에 공급한다.

이번에 출시된 제품은 첨단 화상 분석 시스템과 고해상도의 렌즈 및 광학 현미경을 이용, 반도체 웨이퍼에 발생하는 각종 파티클을 검출해 내는 검사 장비로 차세대 국부클린룸 설비인 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템에까지 적용 가능하다.

특히 이 장비는 「ADC NT」라는 자동 결함 분류 시스템을 채택, 제조 공정의 변경이나 고장에 관계없이 모든 검사 정보를 24시간 연속으로 관리할 수 있으며 수집된 데이터는 네트워크를 통해 수율 관리 시스템으로 전달됨으로써 반도체 공정 관리의 최적화가 가능하다.

<주상돈 기자>