포토레지스트 시장 참여 잇따라

국내 화학 및 일반 약품 업체들이 반도체 제조용 감광재료인 포토레지스트(PR) 시장에 잇따라 진출하고 있다.

28일 관련업계에 따르면 올해 동우반도체약품이 일본 스미토모와 기술제휴로 포토레지스트 시장에 본격 진출한데 이어 지난달에는 삼양사가 미쓰비시화성과 합작으로 국내에 PR 전문 생산 업체를 설립했으며 최근 합성고무 생산 업체인 금호석유화학도 이 시장 참여를 공식 발표했다.

이에 따라 국내 포토레지스트 시장에 참여한 업체는 기존 동진화성과 훽스트산업을 합쳐 총 5개 업체로 늘어나게 됐으며 무기화학 제품 생산 업체인 미원상사와 일반 약품 업체인 일양약품도 현재 관련 제품의 개발을 적극 추진하고 있어 국내 포토레지스트 생산 업체의 증가 추세는 더욱 가속화될 전망이다.

이처럼 포토레지스트 시장에 대한 국내 업체 진출이 잇따르고 있는 것은 이 제품의 국내 수요가 2천억원대를 넘는 거대 규모인데도 현재의 시장 주도 제품인 i라인용과 최근 그 수요가 급증하고 있는 DUV용 제품 대부분이 아직도 외산 제품에 의존하고 있어 자체 개발 및 기술 제휴를 통해 국내 생산을 추진할 경우 제품 공급이 상대적으로 용이할 것으로 판단되기 때문이다.

금호그룹 계열의 금호석유화학은 최근 반도체 제조용 화학약품 시장에 본격 진출키로 하고 내년 4월까지 총 2백억원을 투자, 전남 여천에 포토레지스트 및 현상액 전용 생산 공장을 건설한다. 이 회사는 지난 89년부터 포토레지스트 연구 전담팀을 구성, 자체 개발을 추진해 왔으며 본격적인 제품 양산은 일본 나가세사와의 기술제휴를 통해 추진되는 것으로 알려졌다.

삼양그룹 계열의 삼양사도 최근 사업다각화를 위해 일본 미쓰비시화성과 공동으로 포토레지스트 전문 생산 업체인 「한국리소컴」을 설립했다. 자본금 40억원 규모의 이 회사는 삼양사가 12억원(30%)을, 미쓰비시화성이 28억원(70%)을 각각 출자했으며 향후 천안 외국인전용산업단지에 포토레지스트 생산 공장을 건설할 계획이다.

올해 일본 스미토모와 합작으로 이 시장에 신규 진출한 동우반도체약품은 G라인 및 i라인용 포토레지스트의 양산을 위해 이미 생산 공장 건설에 착수했으며 향후 3년간 총 1백억원을 투자, 0.18미크론 이하의 패턴 형성이 가능한 DUV용 포토레지스트의 개발도 병행 추진키로 했다.

국내 업체 한 관계자는 『이처럼 포토레지스트 시장 참여 및 국내 생산이 활기를 띰으로써 현재 15% 수준인 포토레지스트의 국산 사용률은 내년을 기점으로 50% 선을 넘을 것으로 예상되며 이는 2천억원 정도로 추정되는 국내 시장 규모로 볼 때 1천억원 이상의 수입 대체 효과를 가져올 수 있을 것으로 기대된다』고 말했다.

포토레지스트는 설계된 반도체 회로를 웨이퍼에 전사시킬 때 빛의 조사 여부에 따라 달리 감응함으로써 미세 회로 패턴을 형성할 수 있도록 하는 노광 공정용 감광 재료로 이 중 G라인용과 i라인용은 각각 4MD램 및 16MD램 양산에 사용되며 차세대인 DUV용 포토레지스트는 64MD램 이상 반도체 제조에 사용된다.

<주상돈 기자>