포스코휼스, MOS용 에피웨이퍼 생산 추진

웨이퍼 전문업체인 포스코휼스(대표 김동섭)가 국내 처음으로 MOS용 에피텍시얼(Epitaxial)웨이퍼(이하 에피웨이퍼)를 생산한다.

포스코휼스는 최근 소자업체들의 채용 확대로 급증추세를 보이는 에피웨이퍼를 국산화한다는 방침을 세우고 연내 3백억원을 투자해 기존 천안공장에 월 2백밀리(8인치) 5만장 규모의 전용 생산라인을 구축, 내년부터 본격 양산에 들어갈 계획이라고 9일 밝혔다.

포스코휼스는 내달에 우선 션츄라 에피리엑터 2대를 도입해 월 2만장규모로 생산에 들어가고 98년 하반기에 2대를 추가로 구축할 계획인데 우선 메모리용 제품(P-)과 DSP등 로직제품용(P+)을 함께 생산해 아남산업과 삼성전자등에 주력 공급할 예정이다.

이처럼 포스코휼스가 에피웨이퍼의 조기생산에 나서는 것은 삼성, 아남, 현대, LG등 국내 주요 반도체생산업체들이 기존 실리콘 웨이퍼에 비해 수율과 생산성면에서 우수한 에피웨이퍼를 3세대 64MD램과 DSP,알파칩 등 차세대소자제품 생산시 본격 채택할 움직임을 보이고 있는데 따른 대응노력으로 풀이된다.

실제로 올연말 부천공장 본격가동을 계획중인 아남은 이미 주력제품인 DSP용 웨이퍼로 에피제품을 확정하고 올해 1만8천장에 이어 98년에 10만장, 99년 20만장 정도의 소요계획을 갖고 있으며 삼성전자도 64MD램 3세대및 2백56MD램는 물론 내년 양산 예정인 알파칩에 에피웨이퍼를 사용할 계획이다.

이밖에 LG와 현대도 64MD램 3세대제품부터 에피웨이퍼를 채용한다는 전략아래 98년부터 각각 월 5천장 수준의 시생산을 거친후 99년부터 월 3만장으로 수요를 늘린 다음 매년 2배이상씩 사용량을 늘려나갈 방침이다.

에피웨이퍼는 보통 기존 실리콘웨이퍼 위에 리엑터를 이용해 결함이 없는 박막가스층을 형성한 제품으로 실리콘웨이퍼에 비해 넷다이와 수율면에서 약 10% 정도 우수한 것으로 평가받고 있다. 이에따라 NEC, 도시바, 후지쓰, 미쓰비시 등 대다수 일본업체들은 64MD램 생산부터 이제품을 사용해오고 있다.

그간 국내업체들은 기존제품에 비해 최고 50% 이상 비싼 가격문제와 웨이퍼의 안정적인 수급을 이유로 적극 채택을 미뤄왔으나 최근 2백밀리 양산용 웨이퍼 기준으로 장당 1백80달러를 호가했던 가격이 시장이 본격화 될 경우 1백50달러이하로 내려가 수율 및 생산성을 고려할때 에피웨이퍼 경쟁력이 확보될 것으로 보고 있다.

이번 포스코휼스의 국산화 노력으로 그간 신에츠, 스미토모, 바커, MEMC 등 해외 대형 웨이퍼업체에게 수입해온 에피웨이퍼의 수입대체가 활기를 띨 것으로 업계는 기대하고 있다.

<김경묵 기자>