일양약품, 차세대 반도체용 감광재 개발

일양약품(대표 우재영)은 GD램급 이상 차세대 메모리 반도체 제조에 필수적인 ArF 액시머 레이저용 포토레지스트(감광재)를 국내 최초로 개발, 삼성전자에 공급키로 했다고 18일 밝혔다.

이 회사가 개발한 ArF 액시머 레이저용 감광재는 19(약 3.8ℓ)당 1억원을 호가하는 고부가가치 제품으로 현재까지 미국, 일본 등의 선진국에서조차도 상용화되지 못한 반도체용 핵심재료다.

일양약품은 이에 따라 이번에 개발한 샘플을 삼성전자에 공급하는 것을 시작으로 늦어도 99년부터는 노보넨 메탄올 유도체 등의 기가급 반도체 제조용 감광재를 생산, 국내외에 공급할 예정이라고 밝혔다.

이 회사의 한 관계자는 『아직 ArF 액시머 레이저용 감광재 원료시장이 본격적으로 형성돼 있지는 않으나 2002년부터 1기가급 이상 반도체가 양산되면서 감광재 수요만 최소 수천억원에 이를 것』이라고 전망했다.

<주상돈기자>