日 IHI, 액정 제조·검사부문 강화

이시카와지마 하리마 중공업(IHI)이 액정제조 및 검사 사업을 강화한다.

「日本經濟新聞」에 따르면 IHI는 최근 박막트랜지스터(TFT)방식 기판에 효율적으로 이온을 주입할 수 있는 기술을 개발, 일본내에 특허를 출원한데 이어 이 기술을 응용한 주입 장치를 상품화 한다. 이와 함께 이전에는 검사장치에 의존했던 컬러 필터의 색상 자동측정장치도 출시한다.

이 회사는 이들 제품의 상품화와 관련 액정분야를 담당하는 신사업부를 개설, 조선과 플랜트 등의 중공업 분야 중심의 경영노선을 2000년 까지 수정해 나갈 계획이다.

IHI가 출원한 특허는 TFT를 형성하기 위해 보론 등의 이온을 효율적으로 기판내에 주입하는 기술로 자기필터로 이온 주입에 사용된 수소를 제거하는 것이 특징이다. 지금까지는 수소와 보론 등이 화합된 가스를 이온 주입에 이용해왔다. 이 방식의 경우 기판내에 수소이온이 대량으로 혼입돼 TFT의 성능을 떨어트리는 것이 문제였다.

한편 컬러필터의 색상 자동측정장치는 CCD(고체촬상소자)카메라를 복수로 장착해 적, 녹, 청 3색의 결함을 동시에 판별할 수 있는 새로운 장치이다.

IHI는 이같은 독자 개발제품의 출시와 함께 액정장치분야 세계 최대업체인 포톤다이나믹스(PDI)로 부터의 수입 판매도 늘려 나갈 계획이다.

<박주용 기자>