日 미쓰비시, 12인치 웨이퍼용 용광로 생산체제 정비

일본 미쓰비시 마테리얼 코트社가 약 10억엔을 투자, 12인치웨이퍼용 대형 용광로 생산체제를 정비한다고 「日本經濟新聞」이 최근 보도했다.

미쓰비시 마테리얼 코트사의 이같은 결정은 최근 주요 반도체생산업체들을 중심으로 12인치웨이퍼 실용화 연구가 가속화되면서 곧 12인치웨이퍼용 대형 용광로에 대한 수요가 발생할 것으로 판단한 때문으로 풀이된다.

이 회사는 일단 생산체제를 정비한 뒤 반도체생산업체들의 연구 진척 상황을 지켜 보면서 이를 본격 제품화할 방침이다.

미쓰비시마테리얼코드사는 미쓰비시마테리얼社의 전액출자 자회사로 반도체제조용 용광로와 석영유리판 제조장비 등을 생산해 NEC, 후지쯔 등 주요 반도체생산업체에 납품하고 있다.

<심규호 기자>