서울일렉트론, 연구용 「미니 퍼니스」 개발

반도체장비 업체인 서울일렉트론(대표 채인철)이 연구용 미니 퍼니스를 개발, 본격 생산한다.

기존의 아날로그형 퍼니스를 디지털화한 이 「SMF-800」는 1백50㎜ 웨이퍼에 대응하는 수평형 퍼니스로 대학 및 업체 연구소 등에서 메모리 또는 비메모리 소자의 시험 제작에 적합한 제품이다.

이 회사는 최근 시화공단내 아파형 공장에 퍼니스 장비 생산라인을 구축, 본격적인 생산에 착수하는 한편 2백㎜ 웨이퍼용 미니 퍼니스도 개발,곧 선보일 방침이다.

채인철 사장은 『이번 퍼니스의 개발 및 생산은 그동안 외산 장비의 공급에 주력해온데서 벗어나 제조분야로 사업영역을 확대해 간다는 의미이며 향후 생산될 퍼니스의 주요 시장은 국내가 아닌 해외쪽이 될 것』이라고 말했다.

지난 83년 설립된 서울일렉트론은 반도체장비의 공급 및 제조와 함께 컴퓨터 그래픽과 광통신 관련 사업을 추진, 올해 1백억원 매출을 목표로하고 있으며 하반기에는 코스닥에도 등록할 예정이다.

<주상돈 기자>

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