日 오므론, 마이크로머신 센서용 초소형거울 개발

일본 오므론은 마이크로머신(微小기계) 센서에 사용하는 초소형 거울을 개발했다고 일본 「日經産業新聞」이 최근 보도했다.

실리콘이 주 재료인 이 거울은 전압을 가하면 변화되는 압전소자의 고집적화기술을 채용해, 크기가 가로 1.5mm, 세로 1mm, 두께 0.02mm 이다.

또 이 거울은 거울과 구동부분을 처음으로 일체화, 전체 크기가 가로 2mm, 세로 4mm, 두께 0.5mm인 장치에 장착할 수 있다.

거울은 판(板)용수철로 전체 틀에 고정하는 형태로 돼 있는데 반도체레이저와 결합해 미세물체 검지센서에 사용하게 된다. 금후 배관내 보수나 및 점검 등에 사용하는 마이크로머신에 응용이 기대된다.

<신기성기자>