일본 도쿄일렉트론社가 복수의 반도체 칩을 동시에 검사할 수 있는 웨이퍼 검사장치를 개발했다.
일본 「日經産業新聞」에 따르면 모델명이 「P-8XL」인 이 장치는 8인치웨이퍼용 전자동 검사장치로 검사포인트를 정확히 맞추는 특수 기술을 채용해 한번에 32개의 반도체 칩을 검사할 수 있다.
도쿄 일렉트론社는 이 장치를 6월부터 판매에 들어가 첫해 5백대를 출하할 계획이다.
<심규호 기자>
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