美 노벨러스, 베리안 박막시스템 부문 인수

반도체 제조장비 업체인 미 노벨러스 시스템이 베리안 어소시에이츠의 박막 시스템 부문을 인수한다고 「세미컨덕터 비지니스 뉴스」가 보도했다.

베리안의 박막 시스템 부문은 첨단 로직 및 메모리 칩 제조시 상호 결합(인터커넥션)층을 형성시키는 데 사용되는 물리적 증착(PVD) 장비를 제조, 판매하는 업체로 인수 가격은 1억5천만달러로 결정됐다.

그동안 유전체 절연 및 금속 전도막 형성용 화학적 증착(CVD) 장비를 제조해 온 노벨러스는 이에 따라 PVD 장비를 포함한 증착용 장비 일체를 공급할 수 있는 능력을 갖추게 돼 시장 경쟁력이 한층 높아질 것으로 기대하고 있다.

노벨러스가 새로 진출하게 되는 PVD 시장은 연간 15억달러의 규모를 형성하고 있으며 오는 2천년까지는 2배로 늘어날 전망이다.

이 시장엔 현재 어플라이드 머티리얼즈, 트리콘 테크놀로지스 등이 진출해 있다.

<오세관 기자>