日마쓰시타, 웨이퍼.LCD패널 이물질 검출장치 개발

일본 마쓰시타전기산업이 반도체 웨이퍼나 액정표시장치(LCD) 패널 표면의 이물질 검출 장치를 개발했다.

최근 「日本經濟新聞」보도에 따르면 마쓰시타는 레이저 빛을 반도체 웨이퍼나 LCD패널 등 검사 대상물체에 비춘 후 반사광을 통해 이물질을 검출하는 장치를 개발,우선 자사 관련제품 생산라인에 사용키로 했다.

이 장치는 편광괄필터로 이물질에서 나오는 빛 만을 검출할수 있도록 되어 있어 복잡한 회로 패턴에도 적용할수 있으며 기존 검출장치보다 낮은 비용으로 전수검사를 할 수 있는 것이 특징이다.

또 검사 대상물에서 30도 기울어진 곳에서 반사광을 포착하기 때문에 이물질로 부터의 반사광을 강하게 할수 있어 저배율로도 검사가 가능한 것이 장점이다. 1회 레이저 빛을 비춰 조사할수 이는 범위도 30mm로 기존 제품보다 60배 확대됐다.

이 장치는 60초에 8인치 웨이퍼 1장을 검사할 수 있으며 2미크론 이상 이물질의 95% 이상을 검출할 수 있다.

반도체 웨이퍼의 경우 표면에 피막을 형성한 후에 이물질 검사를 한다. 막 형성시 사용되는 진공용기 벽면에 부착된 알미늄 등의 성분이 웨이퍼 표면 이물질로 붙기 때문이다. 이물질 검출 장치는 검사 대상물체에 부착된 이물질 검출외에 피막형성 장치의 보수 점검시기를 확인할 수 있다는 점에서 필수적인 장비로 간주되고 있다.

마쓰시타는 자사내 관련 부문에서 이 장비를 사용한뒤 앞으로 판매에도 나설 계획이다. 판매 가격은 기존제품보다 15% 정도 저렴한 3천5백만엔선이 될 것으로 예상된다.

<박주용 기자>