한양기공, EP기술 국산화

반도체장비 업체인 한양기공(대표 김재욱)은 가스 캐비닛, 클린룸 배관 등 각종 반도체 설비용 부품제조에 필수적인 EP(Electronic Polishing)기술의 국산화에 성공, 올해부터 이 기술을 채용한 반도체장비를 양산한다고 4일 밝혔다.

이 회사가 최근 국산화한 EP기술은 반도체용 가스 공급라인의 배관용 부품인 핏팅 및 튜브의 제조에 필수적인 표면처리 기술로 그동안 부품국산화에 가장 큰 걸림돌로 여겨졌던 첨단 기술이다.

한양은 EP 공정기술 및 제품양산을 위해 최근 시화공단 내에 설립된 (주)진일특수와 기술협약 관계를 맺고 올해부터 「JUMP(JIN ILL Ultra Clean Manufacturing Product)」라는 이름으로 본격적인 생산을 시작할 방침이다. 또한 향후 이 기술을 활용, 각종 밸브 및 필터류는 물론 압력조절 장치인 레귤레이터와 전자식 압력계기판의 국산화도 적극 추진할 계획이다.

<주상돈 기자>