창민테크놀러지, 양산용 프로브시스템 공급

측정장비 전문업체인 창민테크놀러지(대표 남상용)가 반도체 및 LCD 양산용 4포인트 표면저항측정기(프로브시스템)를 본격적으로 공급한다.

그동안 대학과 기업연구소를 중심으로 연구용 프로브시스템을 공급해온 이 회사는 기존 제품에 자동 로딩, 언로딩 기능이 부가된 양산용 프로브시스템 「CMT-SR 3000LA」를 개발, 내년부터 국내 반도체 및 LCD 생산업체에 공급할 계획이라고 9일 밝혔다.

내년 1월 삼성전관의 컬러필터 생산라인에 처음으로 도입될 이 장비는 4포인트 프로브에 25장의 카세트를 자동으로 이송, 처리할 수 있는 로봇시스템을 장착한 제품이다.

프로브시스템은 웨이퍼 또는 LCD의 박막저항률과 면저항을 측정하는 장비로 양산용은 현재 일본 냅슨社와 미국 텐코社 제품이 1백50억원 규모로 추정되는 국내시장을 독점하고 있다.

<주상돈 기자>