미국 반도체제조장비재료협회(SEMI)가 12인치웨이퍼로 전환하는 데 소요되는 막대한 설비투자비를 절약하기 위해 미국.유럽.일본.한국 등의 국제적인협력이 필요하다고 강조했다.
SEMI는 지난 1일 차세대반도체재료인 12인치웨이퍼 표준화와 관련한 보고서에서 이같이 밝히며 "반도체업체의 30%가 오는 2000년까지 12인치웨이퍼시제품 생산라인을 도입할 계획인 것으로 나타났다"는 설문조사 결과도 함께발표했다고 "일본경제신문"이 최근 보도했다.
SEMI에 따르면 주력 웨이퍼를 현재의 8인치에서 12인치로 전환하는 데 드는 비용은 전세계규모로 1백40억달러 이상이다.
현재 12인치웨이퍼의 샘플가격은 1장에 1천5백달러로 12인치대응 제조장치평가를 위해서는 웨이퍼 1천장 정도가 필요하다. 따라서 이 비용만도 1백50만달러가 소요된다.
이번 보고서에서 SEMI는 시제품생산에 사용할 더미웨이퍼 사양은 거의 확정된 상태로, 양산용웨이퍼 사양도 올해안에 결정할 것이라고 밝혔다.
또 반도체업체의 30%가 2000년까지 12인치 시제품 생산라인을, 45%가 2005년까지 양산라인을 도입할 계획인 것으로 나타났다고 밝혔다.
<심규호 기자>
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