차세대 반도체웨이퍼인 12인치웨이퍼 시제품양산이 일본에서 활기를 띄고있다.
「日本經濟新聞」의 최근 보도에 따르면 반도체웨이퍼 생산 대형업체인 일본 신에츠반도체는 12인치웨이퍼 시제품 생산규모를 현재 1천장에서 올해말5천장으로 끌어올릴 방침이다. 또 고마쓰電子金屬도 5천장규모의 시제품생산라인을 올해안에 착공,내년 3월께부터 가동할 계획이다.
신에츠반도체는 8인치웨이퍼생산공장인 후쿠시마縣 히라가와공장에서 최근12인체웨이퍼 시제품을 생산, 제조장비업체에 공급하기 시작했다. 신에츠는올 연말까지 이 공장에 약 70억엔을 투자, 공급능력을 5배로 확대할 예정이다. 또 98년말에는 월 2만장규모의 양산체제를 갖출 계획이다.
고마쓰는 나가사키縣 나가사키공장에 약 80억엔을 투자해 올해안에 12인치시제품생산라인을 착공하고, 내년 초부터 가동을 들어갈 예정이다. 고마쓰는수요에 맞춰 우선 월 2천-3천장을 생산할 계획이다.
<심규호 기자>
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