한택, 웨이퍼 자동이송장치 국산화

(주)한택(대표 한종훈)이 그간 수입에 의존해온 웨이퍼 자동이송장치(Sorter)를 국산화, 본격 양산에 나섰다.

이 회사는 그동안 약 2억원의 개발비를 들여 웨이퍼 자동이송장치 「HAS200시리즈」의 독자개발에 성공, 이달 초 현대전자에 3대를 공급했으며 올해안에 약 30대 정도를 양산·공급할 계획이라고 6일 밝혔다. 한택은 또 지난달 「세미콘 싱가포르」 국제반도체장비·재료 전시회에서 「HAS200시리즈」가 호평을 받은 것을 계기로 유럽 수출시장 공략에도 나서 올해 소터시장에서만 약 40억원의 매출을 올릴 방침이다.

소터는 웨이퍼가공 공정(FAB)시 웨이퍼 손상없이 공정간 이송을 가능케해주는 핸들링머신으로 그간 美스탈社 등에 전량 의존해 왔는데 수율제고는물론 특히 고신뢰성을 요구하는 12인치 웨이퍼 공정에서는 필수적인 장비로각광받고 있다.

<김경묵 기자>