일 도쿄일렉트론, 미국서 반도체장비 생산

일본 도쿄일렉트론이 미국에서 반도체제조장비를 생산한다. 일본경제신문 에 따르면 이 회사는 미 오리건주에 새 회사를 설립해 내년 1월 공장 착공, 9월부터는 본격 생산에 나선다는 것이다. 이 공장 건설에는약 40억엔을 투자 할 예정이다.

도쿄일렉트론의 미국 진출은 현지 반도체업체 및 현지진출 일본 반도체업체들의 요청에 따른 것으로 일본 반도체제조장비업체가 미국에서 양산에 착수하는 것은 이번이 처음이다. 이를 계기로 앞으로 다른 일본 반도체장비업 체들의 해외생산도 활성화될 것으로 보인다.

도쿄일렉트론은 이를 위해 우선 이달중 오리건주 힐즈버러에 본사를 둔 전액출자회사 도쿄일렉트론오리건사를 설립할 예정이다. 이어 내년 1월부터는 힐즈버러의 공업단지내 약 19만6천평방m의 용지를 매입, 제1공장을 건설할 계획이다. 이 공장은 내년 9월 가동, 12월경 출하를 개시할 예정이다. 출하 액은 초년도에 6억엔, 2차년도에는 60억엔을 목표로 하고 있다.

이 공장에서는 주요부품을 일본에서 들여와 실리콘웨이퍼상에 금속박막을 형성하는 감압CVD(화학적증착법)장치와 확산로를 현지조립방식으로 생산한 다. 이후 조업이 정상궤도에 들어가면 부품의 현지조달비율을 높여나갈 방침이 다. <신기성기자>