일 니콘, 반도체 제조장치 스테퍼 증산

일본 니콘이 반도체제조장치 스테퍼(축소투영형로광장치)의 대폭적인 증산에 착수한다고 "일간공업신문"이 최근 전했다.

이에 따르면 니콘은 스테퍼의 수주증대에 대응해 생산거점 구마가야제작소를증강 16M 및 64MD램용을 중심으로 생산능력을 연간 6백대에서 1천대로 확대한다는 것이다.

이와함께 엑시머레이저탑재의 2백56MD램용 차세대스테퍼의 양산에도 나설 계획이다. <신기성 기자>