일 후지쯔, 웨이퍼공정 폐액 재활용법 개발

일본 후지쯔는 반도체웨이퍼 처리공정에서 나오는 폐액을 현상제 및 중화제 로 재활용하는 증발 농축법을 개발、 시험 사용에 들어갔다고 최근 밝혔다.

후지쯔는 이 공법을 후쿠시마현 공장에 시험채용한데 이어 올해말까지 미에등 국내 반도체 웨이퍼공장에도 적용할 계획이며 내년중에는 미국 및 영국 현지법인에도 적용한다는 계획이다.

이는 반도체 웨이퍼 패턴 에칭공정에서 사용한 유기알칼리를 다량으로 함유 한 현상제를 반도체 감광성 수지의 현상제 및 폐가스 처리용 중화제로 재활 용하는 기술로 지금까지의 역침투막(RO막)처리기술보다 경비절감 및 폐액감 축효과가 탁월하다.

한편 후지쯔는 올해말까지 반도체 폐기물을 91년대비 50%이상 줄인다는 계획이다. <조시룡 기자>