<화요특집> "세미콘 코리아 95" 팡파르

국내외 반도체장비 및 재료를 한데 모은 "반도체장비 및 재료 전시회(SEMICO N/KOREA 95)"가 18일 삼성동 한국종합전시장에서 개막, 3일간의 일정으로 전시에 들어간다. 국내외 반도체장비 및 재료업체들이 대거 참여해 첨단 장비 및 재료를 선보이게 되는 이번 전시회는 급변하는 반도체 업계의 기술동향을 한눈에 파악할 수 있는 기회가 될 것으로 기대된다. 특히 올해들어 메모리 부문을 중심으로 국내 반도체업체의 위상이 크게 높아짐에 따라 올해 한국에 서 열리는 이번 반도체장비 및 재료전시회에는 미국과 일본의 관계자들이 대거 참석할 것으로 예상되고 있다. 〈편집자 주〉 지난 93년에 이어 2년만에 열리는 반도체장비및 재료 전시회 SEMICON 코리아 95)는 참여업체의 대형화가 급진전돼 반도체장비 시장확대를 대변하고 있는 점이 특징이다.

지난 93년 전시회중 3백58개업체가 참여해 3백31개 전시 부스를 사용한 반면올해는 3백50개 업체가 참가해 4백48개 부스를 사용하고 있다.

참여업체수는 오히려 줄어든 반면 전시공간은 더 넓어진 것이다.

이같은참여업체의 대형화는 지난 2년 사이에 반도체 장비시장이 급속도로 확대됐음을 대변하고 있다고 볼 수 있다.

특히 지금까지 카탈로그 전시 수준에 머물렀던 많은 업체들이 직접 제품을 가져다 전시하는 것도 큰 특징중의 하나로 전시규모 대형화의 한 요인으로 작용하고 있다.

반도체장비의 경우 대부분 고가.첨단 장비로 직접 제품을 전시하는데 따른 부담이 매우 크다.

따라서 올해 세미콘 코리아전을 통해 국내외 업체들이 직접 제품을 전시, 설명하고 있는 점은 국내 반도체장비 시장이 확대됨에 따라 각 업체별로 영업 을 크게 강화하기 위한 전초전이란 해석이 가능하다.

이번 전시회에 참여하는 국내 업체수가 크게 늘어난 점도 이같은 경향을 대변하고 있다. 지난 93년 전시회 기간중 총 3백58개 참가업체중 국내업체는 79개인 반면 올해는 3백50개업체중 97개로 늘어났다. 그동안 반도체 장비시장 에 신규 참여한 업체들이 크게 늘어난데다 외국과의 합작사 설립이 지난 2년 간 활기를 띤 결과로 볼 수 있다.

한국반도체산업협회(회장 김광호)에 따르면 지난해 국내 반도체장비시장은 총 15억8천1백만달러로 사상 처음 15억달러대를 돌파, 세계적인 반도체장비 수요국으로 부상했다.

이는 지난 93년의 13억9천2백만달러에 비해 14%정도 성장한 규모. 이가운데 수입분이 91%, 국내 공급분이 9%로 수입의존도가 매우 높았다.

올해 시장규모는 13억달러로 줄어드나 국산화비율은 27%로 전년대비 18%포 인트나 높아질 전망이다. 이는 16.64MD램이 주도할 것으로 보이는 가운데 업체들이 대부분 16.64MD램 생산을 위한 기본 장비의 도입을 마쳤기 때문으로풀이된다. 시장조사업체인 데이터퀘스트사에 따르면 반도체장비중 대부분을 차지하는웨이퍼가공 FAB 장비 시장은 지난해 총 1백4억달러로 전년대비 49.8%의 고성장세를 기록했다. 올해는 1백20억달러로 16.2%가 늘어날 전망이다.

업체별로는 미국의 어플라이드 머티리얼스사가 지난해 총 14억8천만달러 매출을 기록, 전년대비 52%의 고성장세를 보이면서 시장점유율 1위를 기록했다. 이어 일본의 도쿄일렉트론과 니콘, 미램리서치사가 뒤를 이은 것으로 나타났다. 지난해 국내 반도체장비업계의 가장 큰 변화는 삼성전자.현대전자.LG반도체 등 소자업체들과의 유대강화가 전례없이 중요하게 됐다는 점과 반도체장비의 국산화가 급진전된 점을 들 수 있다.

국내 반도체 소자업체들은 D램 부문에서는 일본, 미국을 훨씬 앞지르고 세계 최고의 메모리 생산업체로 발돋음했다. 기술력면에서도 16.64MD램 이상 고집 적 반도체에서는 세계 선두업체로 급부상했다. 이제 이 부문에서는 더이상 따라잡을 대상은 없어지고 추격자들만 도처에 깔리게된 셈이다. 반도체 소자업체들과 장비및 재료업체간 긴밀한 유대구축의 필요성은 바로 여기서부터나타난다. 그동안 4MD램까지는 국내 업체들은 미국과 일본업체들이 겪은 시행착오를 무사통과 시장확대에 편승해온 이점을 누려왔다. 반도체 장비의 경우 대부분이 업체마다의 특수사양에 따라 제작되고 또한 동일 제품의 경우라도 해당업체와 공급업체간 기술협력에 따라 장비이용 분야와 효율성이 천차만별이다.

비싼 장비를 도입하고도 제대로 효율을 거두지 못하는 위험부담이 크다는 지적이다. 따라서 미.일 선두업체들이 겪은 시행착오를 통해 장비의 효율성을높일 수 있었던 것이 사실이다.

그러나 이제는 그같은 혜택은 끝나고 말았다. 국내 반도체업체들이 세계 톱의 위치를 차지했기 때문이다.

이제는 우리 업체들 스스로 한번도 필드에서 사용해본 경험이 없는 첨단 장비들을 활용해야 하는 부담을 지게 된 것이다. 오히려 미국이나 일본,대만의 반도체업체들이 우리가 겪은 시행착오를 이용할 수 있게 된 셈이다. 8인치 웨이퍼의 생산과 공장자동화, 서브하프 미크론급 초미세 가공기술의 양산적 용은 우리가 세계 최고이고 처음이다.

이같은 상황이 소자업체와 장비업체, 재료업체간 협력관계를 돈독히할 필요 성을 높인 것이다. 지난해는 바로 이같은 협력체제 구축의 원년이 된 셈이다. 반도체장비의 국산화와 관련, 지난해는 큰 획을 그은 한해였다. 천안의 반도 체장비공단이 제모습을 드러내기 시작했고 정부및 업계 공동으로 반도체장비 를 국산화하기위한 준비작업을 마친 한해였다. 올해 상반기 반도체장비 국산 화사업이 본격 가동되고 하반기경 천안 반도체공단 입주가 완료되면 국내 반 도체장비산업은 새로운 도약의 틀을 마련할 것으로 예측된다.

천안반도체장비 공단은 현재 반도체장비관련 내국업체 6개사와 외국인 투자 업체 4개업체가 본격적인 공장가동에 들어갔다. 나머지 업체들도 대부분 올해중 공장가동을 목표로 현재 공장건설에 착공한 상태여서 천안 반도체장비 공단은 올해부터 국내 반도체장비 산업의 메카로 부상할 전망이다.

천안 반도체공단은 올해말이면 세계적인 기술력을 갖춘 외투업체 6개사를 비롯해 총 14개업체가 공장가동에 들어갈 것으로 보인다.

반도체장비의 국산화를 위해 정부와 민간이 공동으로 추진하는 반도체장비중기 거점 기술개발 사업"도 올해부터 본격적인 과제수행에 들어간다. 현재까지 플라즈마 증착시스템 개발 과제등 총 17개 과제에 한국DNS등 38개 업체 가 신청해놓은 상태.

반도체장비 중기거점 기술개발사업에 참여한 업체및 과제의 가장 큰 특징으로는 비교적 개발기간이 짧고 즉시 효과를 낼 수 있는 후공정 처리장비들이 주를 이루고 있는데다 수요업체와 장비 전문업체의 협력관계가 이루어져 향후 장비개발후 수요 확보에 밝은 전망을 제시한 동시에 수요자와 공급자간의 공동 기술개발의 새로운 모범을 제시했다는 점을 손꼽을 수 있다.

이번 과제를 통해 국산 반도체 장비가 개발되면 국내 반도체장비 수입의존도 는 80%대 이하로 낮아질 것으로 기대되고 있다. 이들 17개 과제를 완료하는 데 필요한 개발비는 정부출연금 55억7천3백만원을 포함해 총 1백39억5천6백 만원이 소요될 전망이다. 이중 개발 첫해에 들어가는 비용은 정부출연금 42 억7천7백만원을 포함, 1백6억9천3백만원에 달할 것으로 예상된다.

참여업체별로는 삼성전자, 현대전자, 금성일렉트론등 반도체 3사의 추천을 받은 한국DNS.케이씨텍.한양엔지니어링등 18개 장비 전문업체가 총 20개 과제에 참여하고 있어 장비업체의 기술축적에 전기를 마련할 것으로 보인다.

반도체재료 분야에서의 가장 큰 변화는 국산대체가 빠른 속도로 진척되고 있다는 점이다.

지난해 국내 반도체 재료 시장은 총 13억1천3백만달러로 이중 40%에 해당되는 5억2천5백만달러가 내자로 충당됐으며 이에따라 내자구매비율도 지난 93 년 37%에서 4% 포인트가 늘어난 것으로 나타났다.

반도체재료의 내자비율이 이같이 확대된것은 실리콘 웨이퍼를 비롯해 포토마스크.리드프레임.EMC등 반도체 핵심 재료부문에 지난해부터 국내업체의 진출 이 확대돼 반도체재료의 국내 생산이 크게 늘어났기 때문.

특히 반도체 재료중 가장 핵심이 되는 실리콘 웨이퍼의 경우 총 4억3천4백만 달러중 38%인 1억6천6백만달러가 내자로 충당되어 내자비율은 지난 93년의2 7%에서 지난해는 38%로 무려 11% 포인트가 늘어났다.

포토마스크의 경우도 총 5천2백만달러중 내자가 4천3백만달러로 내자비율은9 3년의 81%에서 6% 포인트가 늘어났다. 핵심 패키징재료인 EMC는 총 8천2백 만달러중 내자가 2천1백만달러에 달해 내자비율은 93년에 비해 12%포인트가 늘어난 34%로 확대됐다. 【이경동 기자】