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AMK 서울대반도체공동연구소에 첨단CVD시스템기증

전자신문을 선호 매체로 추가

반도체생산용장비공급업체인 어플라이드 머티리얼즈 코리아(AMK)는 산학협동 차원에서 서울대반도체공동연구소에 15억원상당의 "프리시전 5000 마크 첨단 CVD(화학적 증착)시스템을 기증했다.

AMK이영일사장은7일 서울대반도체공동연구소에서 장비기증식을 갖고 황기웅반도체공동연구소장 좌 에게 장비기증서를 전달했다.

TEOS옥사이드,실란 옥사이드, 메탈CVD체임버로 구성돼 있는 이 시스템은 반 도체제작과정에서 웨이퍼에 화학적으로 각종 금속을 증착하는 핵심장비로 AMK는 향후 부품조달및 시스템관리까지 지원할 계획이다.

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