일니콘등,반도체제조장비 개조공사 관심 높아

반도체생산라인의 투자효율을 높이기 위한 새로운 방안으로 반도체 제조장비 의 "개조공사(리메이크)"가 일본에서 관심을 모으고 있다.

반도체프로세스기술의세대교체와 함께 반도체제조장비의 가격이 계속적으로상승하고 있는 가운데 반도체업체들은 한결같이 "투자에 걸맞는 이익률의 확보가 해를 거듭할 수록 어려워지고 있다" 고 호소하고 있는 실정이다.

이에따라 일본 반도체제조장비업계에서는 장비의 표준화나 다세대공용화 등의 투자경감을 위한 방안을 다각적으로 검토하고 있는데 이와는 다른 측면에서 반도체생산라인의 투자효율을 높이는 방법으로 최근들어 제조장비의 개조 가 각광을 받고 있다. 특히 이 분야에서 두드러진 움직임을 보이고 있는 업체들은 니콘사와 캐논사.

로광장치인스테퍼(축차이동식 축소투영형 로광장치)시장에서 각축을 벌이고있는 니콘, 캐논 양사는 개조서비스를 수익성사업으로 본격화할 움직임이다.

니콘은올해 가을부터 "기능제고 개조공사"라는 명칭으로 개조서비스를 본격 개시한다. 이 서비스의 주안점은 기존스테퍼의 기능강화.

니콘은이 서비스를 위해 현재 "기종마다에 대응한 서비스메뉴를 라인업하고 있다"고 밝히고 있는데 구체적인 서비스로 해상도를 높이는 "슈링크"를 비롯 노광얼룩의 경감, 스테퍼관리소프트웨어의 수정등 20여종을 메뉴화 할 계획 이다. 대부분이 사용자들로 부터 받은 요구사항들이었는데 새롭게 변경, 서비스로 체계화한 것이다.

니콘이개조공사사업에서 책정하고 있는 올 매출목표는 30억엔. 니콘이 지금까지 판매한 스테퍼는 약 3천대인데 거의가 개조공사의 대상으로 올라 있어금후의 사업전개에 따라 매출목표의 초과도 기대할 만하다.

이에대해 니콘을 추격하는 캐논도 니콘과 비슷한 서비스를 준비하고 있다.

캐논은최근 1~2년 "서비스컨트랙트(계약)"를 강조해 왔다. 지금까지의 서비 스컨 트랙트는 주로 "보수서비스의 유상화"를 의미해 왔는데 캐논은 금후의 서비스에서는 기존장비의 기능제고를 메뉴에 포함시킬 방침이다.

이와관련, 캐논의 반도체사업기획부의 오키부장은 "니콘의 개조공사와 거의같은 내용의 서비스가 될 것"이라고 서비스내용을 간접 설명하고 있다.

니콘,캐논 양사에 있어서 스테퍼의 개조공사사업은 본 줄기는 아니지만 사업의 안정.계속성을 유지시키는 데 상당한 기여를 할 것이라는 점에 양사는이견을 달지 않고 있다.

특히개조공사사업은 실리콘사이클에 좌우되지 않고 안정적인 수익을 확보할 수 있다는 면에서 상당한 매력을 지니고 있다.

따라서실리콘사이클에 의한 수주량의 기복으로 단맛.쓴맛을 다 보았던 양사 가 개조공사사업에 거는 기대는 그만큼 크다고 할 수 있다.