삼성전자가 6세대(1c) D램에 '건식 포토레지스트(PR)'를 적용한다. D램에 건식 PR를 도입하는 건 반도체 업계 처음이다. 수율 향상을 위한 시도로, 삼성전자가 차세대 D램에서 경쟁력을 확보할 지 주목된다.

10일 업계에 따르면 삼성전자는 1c D램에 건식 PR를 도입하기로 결정하고, 장비 반입까지 마쳤다. 지난해부터 1c 양산라인을 구축 중인 평택 4공장(P4)에 미국 램리서치의 건식 PR 장비를 들인 것으로 파악됐다. 언더레이어·PR 증착장비, 현상장비 등 복수 설비가 도입됐다.

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