반도체 업계에서 FD-SOI 공정에 대한 관심이 높아지고 있다고 3일 EE타임스가 보도했다. 최근 프리스케일·시스코·시에나 등 3개사가 FD-SOI 공정을 주력으로 채택하면서다.

모바일 애플리케이션프로세서(AP) 등 고집적 반도체의 차세대 공정 기술이 10나노대 핀펫(FinFET)으로 굳어지는 가운데 이외 시스템온칩(SoC)은 완전공핍형 실리콘온인슐레이터(FD-SOI) 공정으로 움직이는 게 최근 추세다.

FD-SOI 공정은 ST마이크로가 내놓은 기술로, 실리콘 웨이퍼 위에 얇은 절연 산화막을 만들고 그 ....