■실생활 광범위 응용 미래여는 `키포인트`■

미세전자기계시스템(MEMS:Micro Electro Mechanical System)시장이 앞으로 수년 동안 폭발적으로 성장할 것이라는 주요 시장조사기관의 발표가 잇따르고 있다.

　반도체 가공방법을 이용해 수㎛급의 초미세 구조를 지닌 기계, 장비를 제조하는 MEMS기술은 이미 우리 주위의 실생활에 광범위하게 응용되는 상황이다. MEMS는 10여년간의 잠복기를 거쳐 지난 90년대 초부터 부상하고 있다. 반도체, 기계, 재료, 전자 등 각종 공학기술이 종합된 공....