나노인프라가 사물인터넷(IoT) 센서·소자 관련 산업 육성을 위해 '나노인프라 기반, IoT 구현을 위한 5대 공정 기술 개발' 프로젝트를 추진한다고 8일 밝혔다.
나노인프라는 국가나노인프라협의체, 나노종합기술원, 한국나노기술원, 나노융합기술원 등 관련 기관을 통칭한다. IoT 5대 공정기술은 차세대 초절전 집적공정 플랫폼 기술, 초소형 나노전자기계시스템 공정플랫폼 기술, 초미세 CMOS 공정플랫폼 기술, 고집적·다차원 센서 공정플랫폼 기술, 고감도·고성능·극한환경 센서용 공정플랫폼 기술을 꼽았다.
나노인프라는 과학기술정보통신부 지원을 받아 센서 소자 선행 공정·플랫폼 기술 연구개발사업과 나노팹 활용지원 사업을 펼친다. 자기, 관성, 고온·압력, 환경, 적외선, 가스 센서, 웨이퍼 레벨 배선·패키징, 측정·테스팅 기술 등과 관련한 다양한 스마트센서·소자 개발을 지원한다. 2015년 10월부터 시작해 2020년 6월에 완료한다.
공정라이브러리, 플랫폼 기술 등을 산·학·연 수요자가 이용할 수 있도록 개방, 관련 서비스도 제공한다.
4차 산업혁명 핵심 기술로 각광 받는 인공지능(AI), IoT 같은 첨단 기술은 공통적으로 첨단센서가 연결 기반이 된다. 하지만 대부분 센서는 수입에 의존한다. 센서는 규모의 경제를 달성하기 어려운 다품종 소량생산 구조라 중소·벤처기업이 적합하다. 하지만 국내 업체 대부분 원천 기술이 미흡하고 영세해 개발인력 확보와 사업화가 어렵다.
나노인프라는 관련 핵심 기능인 초절전, 초소형·고집적, 고감도·고성능 구현이 가능한 스마트센서·소자 공정 플랫폼 기술 구축을 추진키로 했다.
사업은 나노인프라, 한양대, 인하대 외에도 서울대 등 11개 대학과 기업이 협동연구기관으로 참여한다. 총 100여명 이상 연구진이 상호 교류·협력해 11개 플랫폼 기술, 5대 공정기술 확보에 총력을 기울인다.
향후 나노인프라에 5대 공정 기술에 대한 개방형 공정라이브러리(플랫폼)를 구축하고 산·학·연 연구자에게 IoT 센서·소자 관련 다양한 기술 수요 충족과 사업화를 지원한다.
5년 사업 기간 중 3차 년도가 진행 중인 현재 '실리콘 나노와이어 센서 공정플랫폼' 등 17건 공정 기술이 개발됐다.
이재영 국가나노인프라협의체 회장은 “국내 센서 전문 기업 현황을 보면, 스마트폰과 IT 기기를 위한 이미지센서, 터치센서, 마이크로폰 센서 이외 기술력은 매우 취약하며 대부분 센서 품목을 수입에 의존하는 등 글로벌 경쟁력이 매우 미흡한 실정”이라면서 “나노인프라 기관이 첨단 스마트센서 공정·플랫폼 기반기술을 선행 개발해 국내 기업, 관련 산·학·연 연구자에게 나노기술과 융합한 IoT 기술 솔루션을 제공할 것”이라고 말했다.
나노인프라는 대학 연구자에게 나노팹 첨단 장비 활용을 촉진하는 나노팹 활용지원 사업도 펼친다.
나노인프라는 대학 연구자 연구 장비 이용부담을 완화하고 고가 첨단 장비 활용을 촉진하기 위해 나노팹 이용료를 일정 부분 지원한다. 대학 연구자 연구여건 개선과 나노 분야 기초·원천기술개발 활성화에 기여하는 것이 목표다.
나노인프라는 나노 분야 기초·원천기술 경쟁력을 높이기 위해 매년 100명 내외 대학연구자를 지원하고 있다. 이 중 연구취약계층(신진연구자, 여성연구자, 지방대연구자)을 지정, 70% 이상을 선발해 연구기반 조성과 관련 연구자 양성에 기여하고 있다.
<표1> 나노팹 시설 활용 지원 사업 논문 게재 (( )안은 2016년 성과)
<표2>학술대회 발표 (( )안은 2016년 성과)
<표3>특허출원
자료:국가나노인프라협의체
박소라기자 srpark@etnews.com
