국내 중소업체들이 한국표준과학연구원(KRISS·원장 강대임) 김창수 박사 연구팀이 개발한 반도체 공정용 면방위 측정기술을 이용해 제품 경쟁력을 강화하고 나서 관심을 끌고 있다.
실제 적외선 LED용 기판 제조업체인 프라우텍은 불확도 ±0.003° 정밀도의 면방위 인증표준물질을 KRISS에서 제공 받았다. 인증표준물질은 장비 등의 교정을 위한 정확한 기준 데이터 값을 말한다.
LED용 사파이어 기판 제조업체인 한솔테크닉스, 일진디스플레이, 사파이어테크놀로지 등도 KRISS와 면방위 측정 상호 비교시험을 수행한 뒤 기준값을 제공받았다.
면방위 측정기술이란 반도체나 LED 등에 사용되는 단결정 웨이퍼(기판)의 표면각도를 측정하는 기술이다. 면방위 크기에 따라 제조된 소자의 특성 및 구조결함 등이 결정되기 때문에 이에 대한 정확한 측정이 반드시 필요하다.
김창수 박사팀이 개발한 측정법은 기존 장비의 회전축 편심에 의한 오차를 자체적으로 없앨 수 있다. 기존보다 10배 이상 높은 정확도를 가지고 있다.
박노설 프라우텍 대표는 “제품 품질 및 정밀도를 안정되게 관리할 수 있어 진입장벽이 높은 일본 시장에 진출할 수 있는 최소 품질조건을 만족시킬 수 있었다”며 “지속적으로 주문량이 증가하고 있다”고 말했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.com
