어플라이드머티어리얼즈는 초고선명(UHD) LCD와 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이용 금속산화물 증착 장비를 출시했다고 17일 밝혔다.
이번에 선보인 제품은 물리기상증착(PVD) 장비인 `어플라이드 AKT-PiVot 55K DT PVD`와 플라즈마화학증착(PECVD) 장비인 `어플라이드 AKT 55KS PECVD`다.
PVD 장비는 회전식 캐소드 배치 기술을 확대 적용해 균일하고 결함이 적은 금속 전극과 픽셀 전극뿐만 금속산화물을 증착할 수 있다. PECVD 시스템은 실리콘 산화물(SiO2) 절연막을 금속산화물 TFT에 증착함으로써, 수소 불순물을 최소화하고 트랜지스터의 장기 신뢰성을 개선해 디스플레이 성능을 높일 수 있는 장비다.
문보경기자 okmun@etnews.com
