[IT키워드]정전척

정전척(Electrostatic Chuck)은 반도체와 LCD 제조장비의 진공 체임버 내부에 기판이 놓이는 곳으로 정전기의 힘을 사용해 기판을 하부전극에 고정해주는 핵심부품이다.

　LCD 유리기판에 회로를 설계하고 남은 찌꺼기를 제거하는 식각장비(etcher)에는 LCD 유리기판을 수평하게 지지하고 온도를 균일하게 유지해주는 하부전극이 있다. 하지만 LCD 원판이 점점 대형화됨에 따라 체임버 내부에서 유리기판을 수평하게 유지하기가 매우 어려워졌다. 정전척은 이를 해결하기 위해 개발된 장치다.

　정전척은 하부전극에서 정전기를 발생시켜 기판과 하부전극의 간격을 일정하게 유지, 기판을 수평상태로 고정시켜 준다. 반도체 공정용 정전척도 같은 원리를 통해 웨이퍼를 수평상태로 고정시켜 준다.

　LCD용 정전척은 일본 도쿄일렉트론(TEL)에서 독점 공급하던 것을 올해 엔트로피가 국산화했다. 최근에는 위지트가 미국 APS와 합작법인을 설립하고 개발에 나서기로 했다. 반도체용 정전척은 미국 어플라이드머티리얼스(AMAT)·램리서치를 비롯해 국내 코미코 등이 공급하고 있다.