[IT키워드]프로브카드

　프로브카드는 반도체를 제조하는 전공정 마지막 단계의 검사 장비에서 직접 칩과 접촉해 전기 신호를 검출하고 이상 유무를 판정하는 핵심 부품이다. 프로브카드의 탐침이 웨이퍼상의 칩과 전기적 신호를 주고받아 불량 여부를 판정해 불량품을 골라낸다. 비용이 많이 드는 패키징 공정으로 가기 전에 불량품을 미리 걸러 공정비용을 절감하는 역할을 한다.

　반도체의 집적도가 높아져 피치가 좁아질수록 프로브카드의 집적도도 좋아져야 하므로 니들을 이용한 방식이 MEMS로 바뀌는 추세다. 또 웨이퍼 위의 칩들을 여러 번에 걸쳐 나누어 검사하던 것을 한 번에 처리하기 위해 크기도 대형화되고 있다.

　LCD는 패널의 게이트와 데이터 접촉단자에 접속, 점등 여부를 검사하는 프로브유닛이 쓰인다. 반도체용 프로브카드는 국내 업체인 파이컴과 미국 폼팩터가 경합하고 있으며 LCD 검사장비용 프로브유닛은 유비프리시젼과 파이컴 등이 주도하고 있다. 국내 시장 규모는 연간 2000억원으로 추산된다.