관련 통계자료 다운로드 장비별 기술격차 우리나라에서 생산하는 LCD용 검사·세정·자동화장비의 기술 수준은 외국산 제품과 비교했을 때 비슷하거나 다소 우수한 반면, 반도체·LCD용 노광기(리소그라피) 기술은 선진 기업에 비해 10년 정도 뒤처져 있는 것으로 평가됐다.
11일 삼성전자가 협력 업체를 대상으로 자체 분석한 자료에 따르면 LCD용 검사·세정·자동화설비는 이미 선진 기업의 기술력을 넘어섰으며, 반도체용 식각장비(에처)와 화학기상증착기(CVD) 등은 6개월에서 1년 정도의 격차를 보여 선진 기술에 근접해 있는 것으로 조사됐다.
이와 관련, 반도체 업계 한 관계자는 “반도체와 LCD용 에처·CVD는 국내 업체와 선진 업체 간 기술력 차이가 거의 없는 것으로 판단된다”며 “특히 최근 국내 반도체·디스플레이 업체들이 국산 에처·CVD 도입 및 평가에 적극적으로 나서고 있어 업계 평균 기술 격차도 한층 빠르게 좁혀질 것”이라고 말했다.
그러나 리소그라피는 반도체용과 LCD용 모두 기술 차이를 극복하는 데 10년 정도 소요될 것으로 예상됐다. 이 분야는 국내 업계가 렌즈 설계·제작·광원 핵심기술을 거의 확보하지 못하고 있는 것으로 나타났다.
또 반도체용 테스트장비도 아직 일부만 국산화된 상태로, 기반기술이 부족해 선진 기업과 9년 정도의 격차를 보이는 것으로 파악됐다.
이 밖에 개발비 부담이 큰 LCD용 에처와 CVD는 약 3년, 박막증착기(스퍼터)는 5년 정도 뒤떨어진 것으로 나타났다.
심규호기자@전자신문, khsim@
