아토 반도체 PE­CVD 공급계약

　아토(대표 문상영 http://www.atto.co.kr)는 삼성전자와 반도체용 PE CVD(모델명 마하 HP 300) 공급계약을 했다고 25일 밝혔다.

　이 장비는 반도체를 가공하는 메인 공정장비 가운데 하나로 웨이퍼 표면에 원료가 되는 가스를 공급, 열 및 플라즈마를 이용해 화학적 반응을 통한 산화막·금속막 등을 증착하는 장비다.

　아토는 지난해 삼성전자에 이 장비를 200억∼300억원 규모로 납품했으며, 올해도 이달 초에 이어 이번이 두 번째 공급 계약이다.

　 심규호기자@전자신문, khsim@