람소닉, 웨이퍼형 프로브카드 세계 최초 개발

　반도체 검사용 프로브카드(probe card) 전문업체 람소닉(대표 남재우 http//www.lumsonicgyros.co.kr)은 반도체 웨이퍼 레벨 검사에 쓰이는 차세대 프로브카드인 ‘웨이퍼형 프로브카드(모델명 G-STPC·사진)’를 개발, 최근 한국과 미국에서 동시에 특허를 획득했다고 21일 밝혔다.

　프로브카드는 반도체 제조공정 중 웨이퍼를 가공한 후 이를 각각의 칩으로 절단하기 전에 불량을 판별하는 장치다.

　람소닉이 지난 7년 동안 40억원을 투자해 개발한 이 제품은 미세전자기계시스템(MEMS)기술을 응용, 종래 에폭시형 프로브카드의 수평형 바늘(needle)을 제거하는 대신 매트릭스 형태의 수직형 구조와 자체평형(self-balancing) 구조를 채택한 것이 특징이다.

　특히 1㎓ 이상 고주파 테스트 기능을 강화했으며 기존 제품에 비해 정밀도를 높여 20미크론(1㎛은 100만분의 1m)까지 검사가 가능하다. 회사측은 “이 제품을 적용하면 검사원가가 50% 이상 감소하고, 반도체 수율을 1% 이상 향상시킬 수 있다”고 밝혔다.

　남재우 사장은 “수직형·수평형 프로브카드 국산화에 이어 차세대 웨이퍼형 제품까지 개발, 이 부문의 대외 경쟁력이 더욱 높아질 것”이라며 “현재 본격적인 양산을 위해 국내외 관련업체들로부터 투자유치를 추진중”이라고 말했다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>