반도체 홀 효과 자동측정장비 산학협동으로 국산화에 성공

사진; 상록코리아와 영진전문대 이영석 교수가 공동개발한 반도체 홀 효과 자동측정장비.

전량 수입에 의존하던 반도체 홀(hall) 효과 자동화 측정장비가 산학협동을 통해 처음으로 국산화됐다.

　영진전문대 디지털전기정보계열 이영석 교수는 최근 상록코리아(대표 김훈)와 공동으로 반도체의 이동도, 캐리어의 농도·저항률을 자동측정할 수 있는 반도체 홀 효과 자동측정장비를 개발했다고 21일 밝혔다.

　이번에 개발된 홀 효과 자동측정장비(모델명 HEM-2000)는 기존 수동측정장비에 컴퓨터와 통신·자동계측·계산 기능을 적용한 완전자동화장비로 주로 반도체를 연구개발하는 기업연구소나 대학 연구실에서 활용된다.

　특히 이 장비는 반도체의 밀도와 이동도를 측정, 이를 이용한 소자 및 시스템 개발의 기초적인 물리상태를 파악하는 최첨단 측정장비로 이번 국산화를 통해 국내 반도체산업의 경쟁력을 높일 수 있는 계기가 될 것으로 기대하고 있다.

　지금까지 반도체 홀 효과 자동측정장비는 일본 등에서 전량 수입해 이번 국산화를 통해 수입대체효과를 기대할 수 있게 됐다. 게다가 수입제품의 가격은 1억원 이상의 고가인 데 비해 이번에 개발된 장비는 동일한 기능에 1000여만원대로 가격경쟁력을 갖췄다.

　이영석 교수는 “외산 측정장비는 냉장고 크기인 데 비해 이번에 개발된 측정장비는 노트북크기로 대폭 축소해 장비 이용에서도 편리하다”고 말했다.

　<대구=정재훈기자 jhoon@etnews.co.kr>