국제

NEC, 실리콘웨이퍼 검사장치 소형화 기술 개발

　일본 NEC가 대규모집적회로(LSI) 제조공정에서 실리콘웨이퍼의 결함을 검사하는 장치를 종래의 5분의 1 정도로 소형화하는 기술을 개발했다고 「일경산업신문」이 전했다.

　검사장치는 실리콘웨이퍼에 레이저광을 비춰 그 반사 상태로 웨이퍼상의 극미한 흠이나 먼지를 판별하는 것인데, 기존 장치가 여러개의 렌즈를 결합시킨 복잡한 광학 기구로 돼 있는 데 대해 NEC가 이번에 개발한 기술은 회절광필터라는 새로운 기구를 채택해 장치의 설치면적을 기존의 5분의 1 수준으로 줄일 수 있다.

신기성기자 ksshin@etnews.co.kr

주요 행사 ❯

국제 많이 본 뉴스

  1. 1 공중화장실 휴지에 '이 자국'있다면...“절대 사용하지 마세요”
  2. 2 “인도서 또”… 女 관광객 집단 성폭행, 동행한 남성은 익사
  3. 3 필리핀, 두테르테 대통령 체포…ICC 체포영장 집행
  4. 4 “하늘을 나는 선박 곧 나온다”…씨글라이더, 1차 테스트 완료 [숏폼]
  5. 5 중국 동물원의 '뚱보 흑표범' 논란? [숏폼]
  6. 6 가스관 통해 우크라 급습하는 러 특수부대 [숏폼]
  7. 7 “체중에 짓눌려 온몸에 멍이” … 튀르키예 정부도 경고한 '먹방'
  8. 8 애플, 스마트홈 허브 출시 미룬다… “시리 개편 지연”
  9. 9 틱톡 미국에 진짜 팔리나… 트럼프 “틱톡 매각, 4곳과 협상 중”
  10. 10 'Bye-Bye' 한마디 남기고....반려견 버린 비정한 주인 [숏폼]

주요뉴스

브랜드 뉴스룸