정부, "진공기반기술" 개발 본격화

　기가급 메모리반도체·평판디스플레이·우주항공·고기능성 소재 개발 등에 필요한 핵심 요소기술인 진공기술개발사업이 본격 착수된다.

　과학기술부는 1일 올해부터 오는 2002년까지 4년간 총 100억원을 투입, 진공기술의 측정 및 평가, 연구장비 설계제작 등 진공기술기반 구축사업에 본격 착수키로 했다고 밝혔다.

　과기부는 특히 이 사업을 산업자원부가 내년부터 추진할 「한·독 진공 및 플라즈마기술협력사업」과 연계해 기술개발 시너지효과를 높이기로 했다.

　과기부는 이를 위해 올해중 우선 30억원의 예산을 투입하는 등 오는 2002년까지 매년 30억원 이상을 투입, 10-9Pa(파스칼)급의 초진공기기까지 측정·평가·연구가 가능한 장비를 개발할 방침이다.

　연구개발사업비 100억원 중 85억원은 진공펌프·진공시스템·진공재료평가 등의 개발을 위한 연구장비 설치에 투입하고 나머지 15억원은 장치운영·제품규격 및 기술데이터 수집 등에 사용할 계획이다.

　과기부는 진공관련 연구개발사업을 효율적으로 추진하기 위해 반도체·평판디스플레이·환경·금속·재료·광학 개발 등에 있어 산학연 협동연구 및 정보교류를 확대하도록 하고 품질인증 등 진공산업현장의 기술적 애로요인을 해소하는 데 주력할 계획이다.

　과기부는 진공제품에 대한 품질인증 등을 통해 2003년 연간 15억달러 이상의 수입 대체효과가 있을 것으로 분석했다.

　진공기술이란 필요한 진공상태를 만들어 그 안에서 특정기체나 이온·전자 등을 조절하거나 제어해 진공중에서 일어나는 물리·화학적 반응을 각종 첨단 과학실험이나 특수제품 생산에 응용할 수 있도록 하는 기술로, 반도체·평판디스플레이·가속기·전기전자기기·고분자화학분야의 핵심 원천기술이다. 특히 반도체 생산장비 중 에칭 등 전공정장비의 50% 이상이 진공장비이며 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 도전막코팅, 우주환경 모의실험장치 등에 응용되고 있다.

<정창훈기자 chjung@etnews.co.kr>