일본 고마쓰전자금속이 3백mm웨이퍼 생산규모를 크게 확대한다.
「日本經濟新聞」에 따르면 고마쓰는 99년 후반 본격 가동을 목표로 나가사키현에 3백mm 웨이퍼 생산공장을 새로 건설하는 한편 현재 3백mm웨이퍼를 시험 생산하고 있는 미야자키현 공장의 생산능력도 대폭 증강한다.
고마쓰의 이같은 결정은 3백mm웨이퍼가 내년 이후 차세대 반도체 생산용으로 본격 활용될 것이라고 판단한 데 따른 것으로, 고마쓰는 오는 2천3년까지 단계적으로 총 3백50억-4백50억엔을 투자해 3백mm 웨이퍼 생산능력을 크게 늘려나갈 방침이다.
고마쓰는 나가사키현 새 공장 건설을 위해 생산설비, 건물, 크린룸 설치를 위한 초기투자액 약 2백50억엔을 우선 투자한다. 고마쓰는 나가사키공장을 통해 99년말부터 월 10만장의 3백mm웨이퍼를 양산한 계획이며 이 공장에서 생산되는 제품은 전량 고품질웨이퍼인 에피택셜 웨이퍼가 될 것으로 보인다.
이와 동시에 고마쓰는 현재 3백mm 웨이퍼를 월 2천-3천장 규모로 시험 생산하고 있는 미야자키현 공장에도 단계적으로 투자를 계속할 방침인데 우선 99년 전반까지 생산능력을 월 2만장 규모로 늘릴 예정이다.
<심규호 기자>
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