한국DNS, SOG코터 공급

한국DNS(대표 이광교)가 반도체 제조 때 에칭공정 후 물유리를 사용해 웨이퍼의 표면을 평탄화하는 SOG(Spin On Glass)코터 「SC-W60A/80A」를 공급한다.

4∼6인치 및 6∼8인치 웨이퍼용 등 2개 모델로 출시되는 이 제품은 에칭공정 후 웨이퍼 상에 형성된 미세한 굴곡을 특수한 성분의 물유리로 코팅, 웨이퍼 편평도를 높여 다음 에칭공정을 효율적으로 할 수 있도록 해주는 장비로 연속(Roop) 처리기능을 갖춰 다층코팅 작업때 유리하다.

또한 충분한 작업공간의 확보를 위해 대구경 컵을 탑재했고, 열복사형 종형로(Vertical Furnace) 및 스테퍼와의 인라인화도 가능하다.

<주상돈기자>