日도시바, FED소자 제조기술 개발

일본 도시바가 차세대 평면디스플레이인 필드 에미션 디스플레이(FED) 기본소자를 제조하는 새로운 기술을 개발했다고 「日經産業新聞」이 최근 보도했다.

이 신문에 따르면 도시바는 전자방출을 제어하는 전극에 실리콘을 이용하는 방식으로 소비전력이 적고 균일한 소자를 쉽게 제조하는 기술을 개발했다.

FED는 미세한 돌기로 구성된 소자를 평면에 여러개 설치하고 각 돌기로 부터 전자를 방출해 형광판을 빗나게하는 표시장치이다. 도시바가 이번에 개발한 기술은 실리콘제 주형(거푸집)을 전자 방출량를 제어하는 전극으로 이용한 것이 특징이다.

도시바는 P형으로 불리는 거푸집인 실리콘 기판에 N형 실리콘 층을 형성하고 돌기의 재료가 되는 몰리브텐을 채운 후 돌기 부분의 실리콘을 파내 전자를 조절할수 있게 했다. 전극의 중심부에는 전자를 방출하는 개구부가 자동적으로 형성된다. 개구부의 폭은 N형 실리콘층의 두께에 따라 결정되기 때문에 쉽게 조절할수 있다.

도시바는 이번에 세계최소 수준인 폭 0.15미크론의 개구부를 실현했다. 돌기를 만든후 크롬등 금속으로 전극을 형성하는 종래의 기술로는 개구부의 폭이 불규칙해 소자의 신뢰성 저하의 원인이 돼 왔다.

도시바는 또 개구부의 폭을 변화시키는 과정에서 폭이 좁을 수록 소자의 작동전압이 적어지는 특성을 저전압으로 작동되는 FED개발에 이용했다. FED는 두께를 2∼4mm 수준 까지 얇게 할수 있는 평면 디스플레이로 액정패널에 비해 해상도를 높이기가 쉬워 측면에서도 잘보이는 장점을 갖고 있다. 현재 미국과 한국 업계에서도 차세대 디스플레이로 개발하고 있다.

<박주용 기자>