성원에드워드, 내부연소방식 스크러버 공급

드라이펌프 전문회사인 성원에드워드(대표 김중조)가 압축 원심분리를 이용한 내부 연소방식의 스크러버 「TPU」<사진>를 국내에 공급한다.

이 제품은 반도체 제조시 화학증착(CVD) 또는 에피(Epitaxial)공정에서 발생하는 각종 유독가스를 처리하는 장비로 기존 연소방식의 스크러버들이 지닌 불순물 잔존 및 기계부식의 문제점을 최소화한 것이 특징이다.

<주상돈 기자>