AMK, Ultima HDP-CVD 관련 신기술 세미나 개최

어플라이드머티리얼즈코리아(AMK)는 22일 서울 르네상스호텔에서 반도체 제조공정 중 화학적 증착(CVD)분야에 적용되는 「Ultima HDP-CVD」 관련 신기술 세미나를 개최한다.

이번에 소개될 「Ultima HDP-CVD」는 고밀도 플라즈마를 이용한 화학적 증착관련 신기술로 64MD램 이상의 고속소자 제조시 하나의 체임버에서 여러 수준의 유전률 산화막을 동시에 증착시킬 수 있는 공정 기술이다.

AMK는 이날 삼성, 현대, LG, 아남 등 국내 주요 반도체업체 관련 엔지니어들을 대상으로 「Ultima HDP-CVD」의 시연회 및 각종 응용 사례들을 소개할 계획이다.

〈김경묵기자〉