日NEC, 초정밀 광통신용레이저 제조기술 개발

일본 NEC가 종래에 비해 10배이상 정확하게 파장을 제어할 수 있는 광통신용 레이저의 제조기술을 개발했다고 「日刊工業新聞」이 최근 보도했다.

이에 따르면 NEC는 파장제어에 영향을 주는 回折格子의 고정밀도 형성을 위해 전자빔을 중첩 露光하는 高제어회절격자형성기술(WAVE)로 多重전송레이저를 제작하는 기술을 개발했다. 새로운 기술은 제작비용을 적게들이고 효율적으로 다파장광원을 얻을 수 있다는 것이 특징이다.

이 기술은 WAVE이용으로 0.03mm피치의 회절격자를 제조할수 있다.이는 종래 가장 정밀도가 높은 2光束간섭노광법에서 0.3nm피치로 회절격자를 제조하는 것과 비교할 때 정밀도가 10배 이상 향상되고 발신파장도 10배 향상된 0.2nm간격으로 제어할 수 있는 것이다.

이 기술은 또 파장을 정밀제어하면서 연속적으로 레이저를 만들기 때문에 낭비가 없고 시간도 줄어 가격을 종래의 절반수준으로 낮출 수 있다.

NEC는 실제 이 방법으로 1천5백50nm帶 8파장레이저광원을 시험 제작, 파장간격 1.6nm, 2인치웨이퍼에서 0.4nm이하의 균일성을 실현했다.

NEC는 이 기술을 내년에 실용화할 계획이다.

<신기성기자>