日 세리트, 11월 12인치 웨이퍼제조장비 평가 개시

일본의 10개 반도체생산업체들이 공동설립한 반도체제조기술의 연구, 평가회사인 반도체첨단테크놀로지스(약칭 세리트)가 오는 11월 중반부터 12인치웨이퍼용 반도체제조장비의 평가작업을 시작한다.

「日經産業新聞」의 최근 보도에 따르면 세리트는 오는 11월부터 반도체장비업체들로부터 제품평가를 의뢰받아, 올해 안에 약 15대의 성능평가를 실시할 계획이다. 이에 따라 오는 2000년 실용화를 목표로 하고 있는 12인치웨이퍼용 장비개발이 내년 초반부터 본격화될 것으로 전망되고 있다.

세리트는 이번 평가작업을 위해 약 50억엔을 들여 히타치제작소생산기술연구소내에 설치중인 평가실험용 클린룸을 10월 안에 완공, 이 클린룸을 통해 장비업체가 개발한 시제품을 6개월 정도에 걸쳐 실험한다. 내년 하반기에는 평가대상대수가 클린룸의 최대 수용능력인 40대에 이를 것으로 예상된다. 내년 3월께는 반도체업체로 부터 차출되는 인원도 현재의 약 40명에서 1백명정도로 늘어날 전망이다.

12인치웨이퍼는 그 면적이 8인치웨이퍼의 2배이상으로, 칩의 생산성을 크게 향상시킨다. 일본반도체업체들은 99년에서 2000년에 걸쳐 12인치사용 D램양산라인을 설치, 주로 2백56MD램을 생산할 계획이다. 세리트의 평가분야는 △ 제조장비가 웨이퍼의 대형화에 대응할 수 있는가 △ 2백56MD램의 제조에 필요한 선폭 0.25미크론의 미세가공이 가능한가 등이다. 평가데이터는 반도체업체와 장비업체에 제공되어 양산라인용 장비개발에 응용된다.

8인치웨이퍼까지의 제조장비는 기본적으로 각 장비업체와 반도체업체가 개별적으로 개발해 왔다. 그러나 12인치이상급 웨이퍼의 경우는 개발부담이 크기 때문에 각 업체들은 세리트를 중심으로 공동개발 분야를 확대해 개발비의 절감 및 기간 단축 등에 힘을 기울이고 있다.

<심규호 기자>