日 캐논, 64MD램 양산용 신형 스테퍼 시판

일본 캐논이 64MD램 양산용 신형스테퍼(축차이동식노광장치)를 개발, 시판에 들어갔다고 「日經産業新聞」이 최근 보도했다.

캐논은 시간당 처리능력을 자사 기존제품보다 20%향상시킨 신형 스테퍼 「FPA--3000i5」를 시판, 첫해 4백대 판매를 계획하고 있다. 가격은 4억3천만엔이다.

이 제품은 웨이퍼 이동시 발생하는 진동 등을 최소한으로 억제하는 장치를추가하여 노광작업에서의 웨이퍼안정도를 높히는 방법으로 처리능력을 향상시켰다.

94년 시판한 기존기종 「FPA--3000i4」는 시간당 60장의 처리능력을 지니고 있는데 반해 신제품은 시간당 74장을 처리할 수있다.

<심규호 기자>