日리코精器, 구마모토와 공동으로 고감도센서 개발

일본 리코精器는 구라모토제작소와 공동으로 고감도의 마이크로온도·습도센서를 개발,내달부터 샘플출하한다고 「日經産業新聞」이 최근 보도했다.

이 제품은 반도체미세가공기술을 이용,센서칩을 소형화함으로써 센서의 반응시간을 단축시킨 것이 특징으로 가전 복사기 자동차등 폭넓은 분야에서 사용될 수 있다.

온도·습도를 감지하는 부분은 실리콘과 백금을 사용, 두께가 3미크론으로극히 얇다. 센서칩은 세로 1.5mm, 가로 1mm, 두께 0.4mm로 크기가 쌀의 3분의 1정도이다. 온도와 습도를 계측하는 두개의 소자를 하나로 통합한 것이소형화의 요인이다.

또 소형화로 인해 센서의 응답시간이 0.04초로 빨라 기존 센서에 비해 감도가 크게 앞선다. 또한 열용량이 작기때문에 소비전력이 적으며 건전지를전원으로 한 기기에서 장기간 가동할 수 있다.

리코정기는 이 제품을 구라모토제작소에서 오는 9월부터 월 1만개의 정도로 양산할 계획이며 3년후에는 월간 10만개생산을 목표로 하고 있다. 샘플가격은 3천엔.

<신기성 기자>