램리서치코리아, 에칭장비 생산 본격화

그동안 미국 본사제품의 국내공급 및 엔지니어링서비스에 주력해온 램리서치코리아(대표 張明植)가 에칭장비의 국내생산을 본격 추진하고 있다.

6일 관련업계에 따르면 에칭 및 CVD 등 반도체 前공정 핵심장비의 국내생산을 위해 지난해 말 천안공장을 본격 가동한 바 있는 이 회사는 지난 2월말 삼성전자 기흥 7라인에 산화에칭장비인 「4520」 4대를 조립공급한데 이어 최근 LG반도체 구미 G1라인에 메탈에칭장비인 「4720」 1대를 납품하는 등 국내 생산 에칭장비인 「레인보우」시리즈의 조립생산에 박차를 가하고 있다.

이 「레인보우」시리즈는 0.35미크론의 디자인 룰에 의해 16MD램은 물론64MD램의 생산에 사용되는 것으로 램코리아는 올해 15대 이상을 국내 조립생산할 계획이다.

램코리아는 또 레인보우 시리즈에 이어 하반기부터는 0.3미크론 이하의 미세공정에서 사용할 수 있는 트랜스포머 결합 프라즈마(TCP) 에칭장치도생산, 올해 지난해보다 50%이상 늘어난 1억8천만 달러의 매출을 올릴 계획이다.

램리서치코리아는 지난해 11월 핵심장비의 본격적인 국내조립생산을 위해자본금 56억원으로 대지 2천평에 연면적 1천3백76평 규모의 천안공장을 완공, 가동에 들어갔으며 반도체 장비에 대한 교육과 프로세스 교육등 고객기술지원 서비스가 가능한 기술센터를 개설, 운영해 오고 있다.

<김경묵 기자>