일 테이선, 한국서 반도체 약액사업

일본 테이선社가 프랑스의 공업가스 대형업체인 에어 리퀴드社와 절반씩출자해 서울에 반도체용 藥液서비스회사를 설립했다고 「日本經濟新聞」이최근 보도했다.

자본금이 1백만달러인 새 회사 에어 리퀴드 코리아서비스는 공장내에 정제장치를 설치하는 「온사이트방식」으로 반도체업체에 약액을 공급하는데 과산화수소등 고순도 약액의 정제장치를 설치한다. 특히 2백56MD램생산에도 사용할 수 있는 고순도 약액을 안정된 품질로 공급할 예정이다.

<신기성기자>