삼성전자가 극자외선(EUV) 공정 필수품으로 꼽히는 '펠리클'을 자체 개발한다. 초미세 반도체 제조에 사용되는 EUV 공정 경쟁력을 강화하기 위한 전략이다. ASML, 미쓰이화학, 에스앤에스텍, 에프에스티 등이 참여 중인 펠리클 시장에 삼성전자가 경쟁사로 등장했다.