나노스케일 X-ray 현미경 'TXM-XUi' 및 차세대 웨이퍼 검사장비 'Xscan-9860A' 공개
X-ray 검사장비 선도기업 자비스가 국내 최대 반도체 전시회 '세미콘 코리아(SEMICON KOREA) 2026'에 참가해 차세대 반도체 검사 솔루션을 대거 선보인다.
세미콘 코리아 2026은 오는 11일부터 13일까지 서울 코엑스에서 개최된다. 전 세계 550여 개 기업이 부스에서 최신 반도체 기술을 선보이며, 글로벌 반도체 기업을 비롯한 주요 공급망 관계자들이 대거 참여해 반도체 기술 관련 정보를 교류하고 비즈니스 협력을 도모하는 자리이다.
자비스는 이번 전시에서 X-ray 검사장비 라인업을 선보이며, 반도체 X-ray 검사장비 기업에서 'AI를 활용한 토탈 X-ray 검사 솔루션 기업'으로 거듭날 계획이다.
이번 전시에서 선보이는 TXM-XUI는 나노스케일 4D X-ray 현미경 솔루션 장비로, 고성능 산업용 연구장비 시장을 겨냥한 차세대 X-ray 현미경이며 최대 30nm급 초고해상도 이미징을 지원한다.
또한, 웨이퍼 레벨 패키지 인라인 검사장비인 Xscan-9860A는 AI를 활용하여 0.25um 이미지 해상도를 제공하며, 2D/3D 하이브리드 검사 시스템과 고속 CT 기술을 탑재했다. OHT(천정 이송 시스템) 기반 웨이퍼 카세트 자동 로딩·언로딩 기능(EFEM)을 지원하여 스마트 팩토리 환경과의 연계가 용이하고, 다양한 기능과 X-ray 선량 저감 기술을 적용하여 고객사의 다양한 요구에 맞춤 대응이 가능하다.
2026년 다수의 기업이 유리기판(TGV) 상용화를 목표로 한 가운데, 515x510mm 대면적 원장 전수 검사 가능한 고해상도 고속 CT 장비도 공개될 예정이다.
자비스 관계자는 “AI 시대를 맞아 첨단 반도체에 대한 수요가 급증하면서 고정밀, 고속 검사장비의 중요성이 더욱 커지고 있다”며 “나노 단위부터 마이크로 단위까지 커버하는 검사 기술을 보유한 자비스는 이번 SEMICON KOREA 2026에서 글로벌 반도체 검사 시장을 선도하는 기술력을 선보일 것”이라고 밝혔다.
이원지 기자 news21g@etnews.com
