펨트론이 인공지능(AI) 기술을 적용한 반도체 엑스레이 검사 장비를 공급한다.
펨트론은 국내 반도체 외주패키징·테스트업체(OSAT)로부터 웨이퍼 레벨 엑스레이 검사 장비(AXI)를 수주받았다고 1일 밝혔다.
신규 장비는 AI 컴퓨터 단층촬영(CT) 기술과 다중 슬라이스 기반 CT 기술로 반도체 및 패키징 내부를 검사한다.
반도체에서 발생하는 공극(빈 공간)과 기포·마이크로 범프 들뜸·비틀림·미부착 등 각종 결함을 파악, 수율을 개선할 수 있다.
AI 알고리즘으로 기존 엑스레이 검사 장비보다 4배 높은 생산성을 갖췄다고 회사 측은 설명했다. 적은 횟수의 검사 이미지 촬영으로도 미세 결함을 검출할 수 있어서다. 이를 통해 엑스레이 촬영으로 인한 반도체 방폭도 최소화할 수 있다.
펨트론은 반도체 내부 검사 수요가 크게 늘 것으로 전망했다. 반도체가 고정밀·미세화하면서 확인해야할 결함도 많아졌기 때문이다. 특히 고대역폭메모리(HBM)와 저전력 D램 모듈(소캠) 등 AI 메모리 시장에서 엑스레이를 통한 내부 검사 필요성이 커졌다고 회사는 부연했다. 업계에서는 산업용 3차원(3D) 자동 엑스레이 검사 시장이 연평균 6% 이상 성장, 2030년에는 42억달러(약 6조1000억원)에 달할 것으로 내다보고 있다.
펨트론은 이번 장비 공급을 계기로, 반도체 엑스레이 검사 시장 공략을 본격화한다. 현재 해외 OSAT 기업과도 해당 장비 성능 평가를 진행하고 있어, 추가 공급도 예상된다.
회사 관계자는 “AI 기술로 차별화한 반도체 엑스레이 검사 장비를 통해 새로운 시장을 공략할 계획”이라며 “SMT와 패키지에 주력했던 사업 포트폴리오를 웨이퍼 검사 단계까지 확대할 것”이라고 말했다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
